Депонирање
Добијте увид и забрзајте го процесот на развој.
Advanced Energy обезбедува решенија за напојување и контрола за критични апликации за таложење на тенок филм и геометрии на уредите.За да ги решите предизвиците за обработка на нафора, нашите прецизни решенија за конверзија на моќност ви овозможуваат да ја оптимизирате точноста, прецизноста, брзината и повторливоста на процесот на моќност.
Ние нудиме широк опсег на RF фреквенции, DC системи за напојување, приспособени нивоа на излезна моќност, соодветни технологии и решенија за следење на температурата со оптички влакна кои навистина ви овозможуваат подобро да ја контролирате процесната плазма.Ние, исто така, го интегрираме Fast DAQ™ и нашиот пакет за стекнување податоци и пристапност за да обезбедиме увид во процесот и да го забрзаме процесот на развој.
Дознајте повеќе за нашите процеси на производство на полупроводници за да го пронајдете решението што одговара на вашите потреби.
Вашиот предизвик
Од филмови што се користат за моделирање на димензиите на интегрираното коло до спроводливи и изолациски филмови (електрични структури), до метални филмови (меѓусебно поврзување), вашите процеси на таложење бараат контрола на атомско ниво - не само за секоја карактеристика, туку и низ целата обланда.
Надвор од самата структура, вашите депонирани филмови мора да бидат со висок квалитет.Тие треба да ја поседуваат саканата структура на зрната, униформност и конформална дебелина и да бидат без празнини - а тоа е дополнително за обезбедување на потребните механички напрегања (компресија и затегнување) и електрични својства.
Комплексноста само продолжува да се зголемува.За да се решат ограничувањата на литографијата (јазли под-1X nm), техниките за самопорамнети двојни и четирикратни шаблони бараат од вашиот процес на таложење да ја произведе и репродуцира шемата на секоја обланда.
Нашето решение
Кога ги распоредувате најкритичните апликации за депонирање и геометриите на уредот, потребен ви е сигурен лидер на пазарот.
Испораката на RF моќност на Advanced Energy и технологијата за совпаѓање со голема брзина ви овозможуваат да ја приспособите и оптимизирате точноста, прецизноста, брзината и повторливоста на процесот потребни за сите напредни процеси на таложење PECVD и PEALD.
Искористете ја нашата технологија на генератор на еднонасочна струја за да го прилагодите вашиот лак што може да се конфигурира, точноста на моќноста, брзината и повторливоста на процесите потребни PVD (sputtering) и ECD таложење процеси.
Придобивки
● Подобрената плазма стабилност и повторливоста на процесот го зголемуваат приносот
● Прецизната испорака на RF и DC со целосна дигитална контрола помага да се оптимизира ефикасноста на процесот
● Брз одговор на промените во плазмата и управувањето со лакот
l Пулсирањето на повеќе нивоа со адаптивно подесување на фреквенцијата ја подобрува селективноста на брзината на офорт
● Достапна е глобална поддршка за да се обезбеди максимално време на работа и перформанси на производот