Депозиција
Добијте увид и забрзајте го процесот на развој.
„Advanced Energy“ испорачува решенија за напојување и контрола за критични апликации за таложење на тенок филм и геометрии на уреди. За да ги решиме предизвиците со обработката на плочки, нашите прецизни решенија за конверзија на енергија ви овозможуваат да ја оптимизирате точноста на енергијата, прецизноста, брзината и повторувањето на процесот.
Нудиме широк спектар на RF фреквенции, системи за еднонасочна струја, прилагодени нивоа на излезна моќност, технологии за усогласување и решенија за следење на температурата со оптички влакна кои навистина ви овозможуваат подобро да ја контролирате процесната плазма. Исто така, интегрираме Fast DAQ™ и нашиот пакет за собирање податоци и пристапност за да обезбедиме увид во процесот и да го забрзаме процесот на развој.
Дознајте повеќе за нашите процеси на производство на полупроводници за да го пронајдете решението што одговара на вашите потреби.
Вашиот предизвик
Од филмови што се користат за моделирање на димензиите на интегрираните кола, до спроводливи и изолациски филмови (електрични структури), до метални филмови (меѓуврска), вашите процеси на депозиција бараат контрола на атомско ниво - не само за секоја карактеристика, туку и низ целата плочка.
Освен самата структура, вашите нанесени филмови мора да бидат со висок квалитет. Тие треба да ја поседуваат посакуваната структура на зрната, униформност и конформна дебелина, како и да бидат без празнини - а тоа е покрај обезбедувањето на потребните механички напрегања (компресивни и затегнувачки) и електрични својства.
Сложеноста само продолжува да се зголемува. За да се решат ограничувањата на литографијата (јазли под 1X nm), техниките за самопорамнување со двојно и четворократно моделирање бараат вашиот процес на депонирање да го произведе и репродуцира моделот на секоја плочка.
Нашето решение
Кога ги распоредувате најкритичните апликации за депонирање и геометрии на уредите, ви е потребен сигурен лидер на пазарот.
RF испораката на енергија и технологијата за брзо усогласување на Advanced Energy ви овозможуваат да ја прилагодите и оптимизирате точноста, прецизноста, брзината и повторувањето на енергијата потребни за сите напредни процеси на депозиција PECVD и PEALD.
Користете ја нашата технологија за генератор на еднонасочна струја за да ги фино подесите вашите конфигурабилни процеси на одзив на лачниот лак, точноста на моќноста, брзината и повторувањето на процесот што се потребни за PVD (распрскување) и ECD депозиција.
Предности
● Подобрената стабилност на плазмата и повторувањето на процесот го зголемуваат приносот
● Прецизна RF и DC испорака со целосна дигитална контрола помага во оптимизирање на ефикасноста на процесот
● Брз одговор на промените во плазмата и управување со лакот
● Пулсирањето на повеќе нивоа со адаптивно подесување на фреквенцијата ја подобрува селективноста на брзината на гравирање
● Достапна е глобална поддршка за да се обезбеди максимално време на работа и перформанси на производот