Напојување со средна фреквенција за распрскување на серијата MSB

Краток опис:

RF напојувањето од серијата RHH се потпира на зрела технологија за генерирање RF за да им обезбеди на клиентите напојување со RF со поголема моќност, поголема прецизност и брз одговор.Со фаза може да се постави, да се контролира пулсот, дигитално подесување и други функции.Применливи области: фотоволтаична индустрија, индустрија за прикажување на рамни панели, индустрија за полупроводници, хемиска индустрија, лабораторија, научни истражувања, производство итн.

Применливи процеси: засилено хемиско таложење на пареа (PECVD), плазма офорт, чистење на плазма, извор на радиофреквенција на јони, плазма дифузија, распрскување со полимеризација на плазмата, реактивно прскање итн.

Детали за производот

Ознаки на производи

Испратете ни е-пошта

Карактеристики

● Стилови за монтирање со половина тула и решетката

l Прифатете целосна дигитална контрола, со практично и богато мени за работа

l Функции за подесување на фреквенција, пулс и синхронизација на пулсот

● Со функција за синхронизација на фази CEX

● Совршена заштитна функција

Детали за производот

Влез	Влезен напон: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(Специјалните спецификации може да се прилагодат)
Влез	Влезна фреквенција: 47~63Hz
Излез	Излезна фреквенција: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Опсег на подесување: ± 5%
	Излезна моќност: 1,5~5 kW
	Опсег на регулација на излезна моќност: 1~100%
	Излезна импеданса: 50Ω+j0
	Излезен интерфејс: тип N
	Излезен режим: континуиран, пулсен
	Фреквенција на пулсот: 100Hz~100kHz
	Работен циклус: 5~95%
Индекс на перформанси	Фактор на моќност: 0,98
	Точност на стабилноста на фреквенцијата: ±0,005%
	Ефикасност: 75% (на номинален излез)
	Хармоничен: ＜-45 dBc
	Залутани: ＜-50 dBc
	Интерфејс за надворешна контрола: аналогна количина, комуникација и синхронизација
	Режим на комуникација: Стандарден комуникациски интерфејс RS485;Изборен етер CAT, индустриски етернет, итн.
Забелешка: производот продолжува да иновира и перформансите продолжуваат да се подобруваат.Овој опис на параметарот е само за референца.