ТЕЛ: +86 19181068903

RF напојување од серијата RHH

Краток опис:

RF напојувањето од серијата RHH се потпира на зрела технологија за генерирање RF за да им обезбеди на клиентите RF напојување со поголема моќност, поголема прецизност и брз одговор. Со можност за поставување на фаза, контрола на пулсот, дигитално подесување и други функции. Применливи области: фотоволтаична индустрија, индустрија за дисплеи со рамни панели, индустрија за полупроводници, хемиска индустрија, лабораторија, научни истражувања, производство итн.
Применливи процеси: таложење на хемиска пареа засилено со плазма (PECVD), плазма јодирање, чистење со плазма, извор на радиофреквентни јони, плазма дифузија, распрскување со плазма полимеризација, реактивно распрскување итн.


Детали за производот

Ознаки на производи

Испратете ни е-пошта

Карактеристики

● Стилови со полу-тула и монтирање на решетка
● Усвојување на целосна дигитална контрола, со практично и богато мени за работа
● Функции за подесување на фреквенција, пулсирање и синхронизација на пулсирање
● Со функција за синхронизација на фази CEX
● Совршена заштитна функција

Детали за производот

Внесување Влезен напон: AC220V ± 10% 3ΦAC380V ± 5% (може да се прилагодат посебните спецификации)
Влезна фреквенција: 47~63Hz
Излез Излезна фреквенција: 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
Опсег на подесување: ±5%
Излезна моќност: 1,5~5kW
Опсег на регулирање на излезна моќност: 1~100%
Излезна импеданса: 50Ω+j0
Излезен интерфејс: тип N
Излезен режим: континуиран, пулсен
Фреквенција на пулсот: 100Hz~100kHz
Работен циклус: 5~95%
Индекс на перформанси Фактор на моќност: 0,98
Точност на стабилност на фреквенцијата: ±0,005%
Ефикасност: 75% (при номинална моќност)
Хармоник: <-45dBc
Скитање: <-50dBc
Надворешен контролен интерфејс: аналогна количина, комуникација и синхронизација
Режим на комуникација: Стандарден RS485 комуникациски интерфејс; Опционален Ether CAT, индустриски Ethernet, итн.
Забелешка: производот продолжува да иновира, а перформансите продолжуваат да се подобруваат. Овој опис на параметарот е само за референца.


  • Напишете ја вашата порака овде и испратете ни ја

    Оставете ја вашата порака